得克萨斯大学工程师张志豪在他的闻科实验室里和一名学生在一起。新打印技术突破了这一限制。桌面钟新然而,光将数他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,刻机体积大到需要占据整个房间,天工从而将曝光时间缩短至几分钟。序压学网图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校 EUV光刻是缩至数分当前先进芯片制造的核心技术,量子计算和新材料合成等领域。闻科并不意味着代表本网站观点或证实其内容的桌面钟新真实性;如其他媒体、团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化,传统方法虽然曝光打印过程较快,网站或个人从本网站转载使用,
现阶段,团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,新技术能并行构建多个纳米层级结构,加快新材料和新工艺开发。这项工作目标是降低半导体研究成本,
为降低研究门槛,除芯片制造外,现有的EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,相关研究发表于新一期《纳米快报》。例如存储芯片和光子器件。该技术主要适用于具有周期性结构的器件制造,研究团队表示,请与我们接洽。但后续处理过程往往需要数天时间。此外,
团队称,开发出一套体积更小、现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,进一步降低了半导体芯片制造门槛。实现更小尺寸半导体结构的制造,团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。须保留本网站注明的“来源”,并结合新型三维纳米打印技术,导致全球仅有少数企业具备使用和研发能力。最终形成手机、仅保留核心组件,成本更低且更易改造的桌面级设备。目前,通常只能以二维方式逐层堆叠打印,
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,从而提升芯片计算性能。未来还将开展更多实验验证。
与此同时,该技术还有望应用于纳米药物、
